半导体行业设备生产厂中的四氟化碳烟粉尘都是种不利气态，对室内环境和身体营养健康都是有不良影响。所以，对四氟化碳烟粉尘的补救办法有重要的意义上。中广通环保标准将从电磁学吸收、化工吸收、催化反应阳极氧化和冷凝器法二个各方面来解绍一点补救四氟化碳烟粉尘的办法，并深入分析各种各样办法的特点。目的在于为半导体行业设备生产厂的企业提供数据对四氟化碳烟粉尘补救办法的明白和选定参照。

一、物理吸附法

物理化学吸出法是将四氟化碳有机废气进行吸出剂，将其脱离弄出来。吸出剂基本就是一些多孔涂料，如抗逆性炭、沸石、蛙胶等。该方法步骤的长处是补救方式简洁明了，会极有效率地的还原四氟化碳，对生活环境的生态破坏较小。毛病是吸出剂必须要死期换洗，

二、化学吸附法

电学上离心分离法是将四氟化碳排放物借助电学上发生反应，将其转成为没有危害的气物。一般是按照的是碱式腐蚀法，将四氟化碳转成为碳酸气物。该工艺的优势是除理高高效率，要将四氟化碳彻底解决转成为没有危害的有害物质。优缺点是还要加入到电学上化学药品，

三、催化氧化法

促使腐蚀法是借助促使剂将四氟化碳排放物腐蚀分析，被转化为二腐蚀碳和水。促使剂基本是铜、铁、钼等合金金属或其类化合物。该的方式的独到之处是速度高，办理后的排放物无毒性性，对环镜空气污染小。问题是促使剂必须 定存替换，

四、冷凝法

冷凝剂法是将四氟化碳废气排放凭借冷凝，将其煤气拆分。该策略的优势：是治理时候容易，会高效率的地消除四氟化碳，对自然环境的环保问题较小。利弊是是需要需要量非常多力量，

四氟化碳印刷废液的除理的办法有许多种，每张的办法有其特点。半导体器件加工制造机构也可以按照其自己的的实际情况选取适于的除理的办法。时，考虑到变少四氟化碳印刷废液的进行排放，机构还必须不断加强对产出过程中 的管理和调优，尽有机会变少印刷废液的会产生。