光电器件职业造成的印刷的无机的排放治理用进行分类封闭采集而来加工，有含含酸性印刷的无机的排放治理、碱印刷的无机的排放治理、无机印刷的无机的排放治理、有毒性性危险印刷的无机的排放治理、普通排放等。不一样的多种类型的印刷的无机的排放治理已选用的光电器件环境机械甚微不一样的。加工体系无机台商品详情页POU本市加工和厂务端（Fab）中间加工体系；如热脱色、CVD、干法刻蚀、亚铁离子灌入等技术工艺中会造成性能指标汽体（硅烷、砷烷、磷烷、全氟烃、含卤化物汽体等有毒性性和高溶点印刷的无机的排放治理），先经本市Local Scrubber预加工，后经入厂务商品详情页中间加工体系汇集加工。 中间加工体系汇集加工有含含酸性印刷的无机的排放治理加工体系（SEX）、碱印刷的无机的排放治理加工体系（AEX）、无机印刷的无机的排放治理加工体系（VEX）、砷排加工体系（ASX）、普通排汽体系（GEX）等，表中普通排汽体系所排印刷的无机的排放治理无危害，起换气扇导热帮助。

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总之，半导体厂废气处理设备有很多种，每一种都有其特定的作用。半导体厂必须根据其排放的废气的特性来选择合适的废气处理设备，以达到的净化效果。我们应该积极支持半导体厂的环保工作，保护我们的环境。